5月24日,由中國半導體協(xié)會、青海省經(jīng)濟和信息化委員會主辦,黃河公司承辦的“集成電路硅材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展座談會”在青海西寧舉行并取得圓滿成功。
青海省副省長、工業(yè)和信息化電子司副司長、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司總工程師三人出席會議并致辭。會上,黃河公司進行了國產(chǎn)高純電子級多晶硅產(chǎn)品的發(fā)布,并分別與浙江金瑞泓科級股份有限公司、有研半導體材料有限公司、麥斯克電子材料有限公司簽署合作協(xié)議。會議期間,全體與會代表參觀了黃河龍羊峽水電站、龍羊峽水光互補光伏電站及新能源分公司多晶硅生產(chǎn)線。
一直以來,中國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中關(guān)鍵的上游半導體硅材料和硅片長期受制于國外壟斷,嚴重影響我國集成電路產(chǎn)業(yè)、新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)、新能源產(chǎn)業(yè)、新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。“黃河水電多晶硅”的批量生產(chǎn),打破了國外巨頭壟斷和國家集成電路基礎原材料全部依賴進口的局面,為國家集成電路產(chǎn)業(yè)原材料戰(zhàn)略安全提供了保障。
“黃河水電多晶硅”項目采用改良西門子法,年產(chǎn)達2500噸電子級多晶硅,實現(xiàn)完全閉路循環(huán),節(jié)能低耗、安全環(huán)保。其中,冷氫化四氯化硅轉(zhuǎn)化率達到國內(nèi)最高水平;還原爐回收尾氣經(jīng)處理后,完全實現(xiàn)閉路循環(huán)生產(chǎn);產(chǎn)品后處理采用全程潔凈環(huán)境流水線。項目納入中國第一批符合《多晶硅行業(yè)準入條件》,并成功申請了《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝(02專項)》工作;采用世界一流的標準化專業(yè)廠房,具備成熟的潔凈生產(chǎn)技術(shù),進行原輔材料、生產(chǎn)過程以及最終成品的檢測控制。擁有國內(nèi)唯一一家能夠涵蓋電子級多晶硅材料全部檢測項目的綜合實驗室,獲得國內(nèi)首家CNAS認可。
經(jīng)過多年生產(chǎn)實踐,“黃河水電多晶硅”形成了獨有的技術(shù)優(yōu)勢,產(chǎn)品指標達到國際先進水平,其中氧含量<0.02ppma,碳含量<0.02ppma,受主雜質(zhì)<0.03ppba,施主雜質(zhì)<0.05ppba,基體總金屬雜質(zhì)<2ppbw,經(jīng)第三方權(quán)威檢測機構(gòu)檢測,產(chǎn)品質(zhì)量與德國、日本知名多晶硅質(zhì)量相當。
目前,“黃河水電多晶硅”已經(jīng)得到下游客戶的廣泛認可,產(chǎn)品用于生產(chǎn)3至8英寸重摻、輕摻拋光片和外延片,經(jīng)過12英寸拋光片質(zhì)量評估,與國外產(chǎn)品質(zhì)量無差異,完全可替代進口產(chǎn)品,“黃河水電多晶硅” 打響了民族品牌。
“黃河水電多晶硅”致力于核心技術(shù)研發(fā)和質(zhì)量提升,以創(chuàng)新驅(qū)動引領未來發(fā)展,努力將國內(nèi)電子級多晶硅市場占有率提升至30%以上,力爭成為全國重要的集成電路材料生產(chǎn)基地和行業(yè)領軍企業(yè)。未來,黃河新能源分公司將為建設資源節(jié)約型、環(huán)境友好型企業(yè),持續(xù)向客戶、社會提供高品質(zhì)的電子級多晶硅產(chǎn)品,為集成電路原材料國產(chǎn)化續(xù)寫新篇章。